Курчатовский специализированный источник синхротронного излучения "КИСИ-Курчатов"

Экспериментальная станция МИКРОФОКУС ( К2.2.)

Станция предназначена для исследования локальной структуры объектов за счет использования сильно сфокусированного рентгеновского излучения.

Станция МИКРОФОКУС позволяет фокусировать рентгеновское излучение в область размером до 10x10 мкм в широком диапазоне энергий и эксплуатировать множество методик изучения объектов рентгеновскими методами с поправкой на локальный характер получаемой информации. Модульная конструкция станции обеспечивает гибкость и позволяет собрать экспериментальную схему под конкретную исследовательскую задачу.

1. Экспериментальные методики
 

1.1. Микродифракция (uXRD)

Построение карт распределения кристаллических фаз по образцу с микрометровым разрешением. Возможно проведение методики в геометриях "на просвет" и "на отражение".

1.2. Рентгеновская микрофлуоресценция (uXRF)

Построение карт распределения элементного состава по образцу с микрометровым разрешением.

1.3. Рентгеновская флуоресценция в геометрии скользящего падения (GIXRF) и выхода (GEXRF)

Методики позволяют получать профили распределения элементов по глубине в приповерхностной области образца за счет анализа пространственного распределения флуоресцентного излучения, испытывающего эффект полного внешнего отражения на образце.

1.4. Измерение рентген-индуцированного тока и напряжения (XBIC, XBIV)

Построение карт распределения рентген-индуцированных тока и напряжения с микрометровым разрешением позволяет исследовать однородность электрофизических характеристик по образцу.

2. Образцы

Полупроводниковые и металлические структуры микро- и наноэлектроники, конструкционные материалы, объекты культурного наследия.

3. Основные параметры станции

Видеосюжет. Экспериментальные станции "КИСИ-Курчатов". МИКРОФОКУС